蔡司ZEISS 場發(fā)射掃描電鏡Gemini系列詳細說明：

蔡司ZEISS 場發(fā)射掃描電鏡Gemini系列充分利用 Gemini 電子光學系統(tǒng)設計GeminisEM 系列產(chǎn)品基于成熟的蔡司Gemini 技術，此項技術已有超過 25 年的使用歷史。

這一系列配備有完整高效的探測系統(tǒng)，并具有出色的分辨率和易用性等特點Gemini 物鏡的設計結(jié)合了靜電場與磁場，在提升光學性能的同時將它們對樣品的影響降至least。因此，即便是要求苛刻的樣品--如磁性材料，也能進行高品質(zhì)成像。在 Gemini鏡筒設計理念中，Inlens 用二次電子(SE)和背散射電子(BSE)探測器來確保高效的信號檢測。Inlens 探測器均放置在鏡筒內(nèi)正光軸上，在減少重新校準耗時的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。

Gemini 電子束推進器技術可以保證在非常低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比此外，它確保了電子束在鏡筒中運動時始終保持高加速電壓，直至出鏡筒后才減速至設定電壓，更大程度地減小外部雜散磁場對系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360、GeminiSEM 460和 GeminiSEM 560三者均應用了 Gemini 設計、Inlens 探測器和電子束推進器技術。